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本項目計劃建設用地66,757平方米，建設集研發(fā)綜合性辦公樓、測試驗證平臺、電力配套、動力站等功能于一體的公輔設施。該項目將聯(lián)合上海集成電路材料研究院共同承擔國家集成電路材料創(chuàng)新中心項目，擬建設一座硅材料工程技術研發(fā)實驗基地。該項目建成后將徹底改變我國在硅材料工程研究與應用方面的不足，帶動國內硅材料配套產業(yè)的發(fā)展，同時也將帶動相關硅材料上下游產業(yè)的持續(xù)創(chuàng)新。